3D光学平涉轮廓仪建立在移相干涉测量( PSI)、 自光垂直扫描干涉测量(VSI ) 和单色光垂直扫描干涉测量(CSI)等技术的墓础上 ,
以冥纳米级测量准确度和重复性(稳定性)定量地反映出被测件的表面粗糙度、 表面轮廓、 台阶高度、 关键部位的尺寸及真形貌特征等。
广泛应用于集成电路制造、 MEMS、 航空航天、 精密加工、 表面工程技术、 材料、 太阳能电池技术等领域。
美国硅谷研发的核心技术和系统软件
.关键硬件采用美国、 德国、 日本等知名晶牌
PI纳米移动平台及控制系统
Nikon干涉物镜
NI信号控制板和Labview64控制软件
TMC光学隔振台
.测量准确度重复性达到世界先进水平(中国计量科学研究院证书)