三维光学表面轮廓仪(3D Optical Profile)
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三维光学表面轮廓仪(3D Optical Profile)
产品详情

3D光学平涉轮廓仪建立在移相干涉测量( PSI)、 自光垂直扫描干涉测量(VSI ) 和单色光垂直扫描干涉测量(CSI)等技术的墓础上 ,

以冥纳米级测量准确度和重复性(稳定性)定量地反映出被测件的表面粗糙度、 表面轮廓、 台阶高度、 关键部位的尺寸及真形貌特征等。

广泛应用于集成电路制造、 MEMS、 航空航天、 精密加工、 表面工程技术、 材料、 太阳能电池技术等领域。


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美国硅谷研发的核心技术和系统软件

.关键硬件采用美国、 德国、 日本等知名晶牌

PI纳米移动平台及控制系统

Nikon干涉物镜

NI信号控制板和Labview64控制软件

TMC光学隔振台

.测量准确度重复性达到世界先进水平(中国计量科学研究院证书)

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