苏州奕视锐光电科技有限公司

测试仪器
自动化专家
咨询热线:
13656208715

三维光学表面轮廓仪(3D Optical Profile)

产品详情

3D光学平涉轮廓仪建立在移相干涉测量( PSI)、 自光垂直扫描干涉测量(VSI ) 和单色光垂直扫描干涉测量(CSI)等技术的墓础上 ,

以冥纳米级测量准确度和重复性(稳定性)定量地反映出被测件的表面粗糙度、 表面轮廓、 台阶高度、 关键部位的尺寸及真形貌特征等。

广泛应用于集成电路制造、 MEMS、 航空航天、 精密加工、 表面工程技术、 材料、 太阳能电池技术等领域。


q.png


美国硅谷研发的核心技术和系统软件

.关键硬件采用美国、 德国、 日本等知名晶牌

PI纳米移动平台及控制系统

Nikon干涉物镜

NI信号控制板和Labview64控制软件

TMC光学隔振台

.测量准确度重复性达到世界先进水平(中国计量科学研究院证书)

苏州奕视锐光电科技有限公司
首页                     关于我们                     产品案例                     新闻中心                    联系我们
QQ:262231293                       联系电话:13656208715                                 联系邮箱:chenyang@es-ray.com