干涉轮廓设备采用垂直扫描干涉和移相干涉技术，实现对样品表面粗糙度、台阶高度、表面轮廓、关键部位及其形貌特征的纳米级三维精密测量。广泛应用于集成电路制程、先进封装、MEMS、材料表面工程、新型显示技术、高效太阳能电池技术、新型微流控技术、高端通信产业、航空航天、超精密加工等领域。
1、PSI+VSI+CSI+XSI 3D干涉测量模式
2、原色缺陷观察、各种几何尺寸测量2D模式
3、测量准确度重复性达到世界先进水平
4、关键硬件采用美国、德国、日本等知名品牌
5、PCB基板在线测量专用软件
6、高性价比微观形貌测量设备
7、迅捷、高效的优质售后服务
