PCB/半导体/平板显示三维光学轮廓仪 (3D  Optical Profiler)
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PCB/半导体/平板显示三维光学轮廓仪 (3D  Optical Profiler)
产品详情

干涉轮廓设备采用垂直扫描干涉和移相干涉技术,实现对样品表面粗糙度、台阶高度、表面轮廓、关键部位及其形貌特征的纳米级三维精密测量。广泛应用于集成电路制程、先进封装、MEMS、材料表面工程、新型显示技术、高效太阳能电池技术、新型微流控技术、高端通信产业、航空航天、超精密加工等领域。

  • 1、PSI+VSI+CSI+XSI   3D干涉测量模式

  • 2、原色缺陷观察、各种几何尺寸测量2D模式

  • 3、测量准确度重复性达到世界先进水平

  • 4、关键硬件采用美国、德国、日本等知名品牌

  • 5、PCB基板在线测量专用软件

  • 6、高性价比微观形貌测量设备

  • 7、迅捷、高效的优质售后服务

Addr                                                                     Tel/联系电话 : 13656208715                                                        Mai/邮箱 :chenyang@es-ray.com